真空磁控溅射镀膜机的维护保养及安全工作措施真空卷绕镀膜机的维护保养及安全工作措施如下：1、设备接地必须可靠，并经常检查接地装置导电作用。2、扩散泵和油增压泵在加热情况下，切勿与大气接触，以免泵油氧化。3、定期检查和调整水流继电器，检查断水报警是否正常，保证设备冷却水供水畅通。4、扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水，泵停止工作，但泵内未冷却至80℃以下时，不得切断冷却水，以防止泵芯烧
