固体杂质会影响断路器。在正常情况下，SF6密度继电器校验仪灭弧室会带有一些游离的导电杂质。含有杂质的SF6气体通常会将击穿电压降低为纯SF6气体。施加10％的电压，并且包含杂质的击穿电压与杂质的大小，位置，材料，形状和工作特性密切相关。杂质会导致外壳和带电部分之间的气隙击穿电压降低，甚至会击穿；杂质还会导致断路器电弧重新点燃，从而导致灭弧失败。 SF6气体泄漏问题也是影响断路器安全运行的重要
