抛光机对工件的抛光主要是达到较大的抛光速率，这样就可以很快除去研磨时产生的受损层。同时也要使抛光受损层不会影响终看到的组织，就是不会有假组织。抛光的要求是粗抛，必须根据工件的规格与材质选用适合粗糙的磨料。以保证有很快的抛光速度来去除研磨时的损伤层，若果损伤层比较浅的话，后者就要选用较细的磨料，使抛光损伤层较浅，但是抛光效率就会降低。为了解决这个问题，技术员们想到一个方法，就是把抛光分为两个阶段进行
