排气：其主要来源于涂胶、显影工序和各工序使用清洗过程时所产生，需经有机废气处理设备处理后，再由风机排入大气。碱性剥离排气：主要来源为阵列工程的剥离工序所使用之剥离液，角铁法兰厂家，废气经过冷凝吸收器，将废气中的剥离液冷却下来，冷凝器吸收处理后的废气所含的废气浓度会大为下降，然后做水洗中和处理，再由风机排大气。应急排气：当洁净室机台端风管内探头感应气体浓度过高时，紧急启用以使生产正常并维持室
