真空镀膜机工作的特点真空镀膜机工作的特点是溅射率高、基片温升低、膜-基结合力好、装置性能稳定中频设备必须加冷却水进行冷却,原因是它的频率高电流大。电流在导体流动时有一个集肤效应,电荷会聚集在电导有表面积,这样会使电导发热,所以采用中孔管做导体中间加水冷却。冷水机能控制真空镀膜机的温度,以保证镀件的高质量。如果不配置冷水机就不能使真空镀膜机达到、率控制温度的目的,因为自然水和水塔散热都