磁控溅射系统介绍想了解更多关于磁控溅射产品的相关资讯，磁控溅射仪价格，请持续关注本公司。真空泵和测量装置：低真空：干泵和convectron真空规高真空：涡轮分子泵，低温泵和离子规5.控制系统：硬件：PLC和计算机触摸屏控制自动和手动沉积控制主要特点：射频电源：基底预先清洗和等离子体辅助沉积温度控制器：基底加热基底传送装置冷却系统 磁控溅射“磁控反应”介绍磁控反应溅射绝缘体看似容易，而实际
