自动磁控溅射系统有哪些特点？沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售磁控溅射产品，多靶磁控溅射仪，我们为您分析该产品的以下信息。自动磁控溅射系统产品特点：不锈钢腔体晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率带观察视窗的腔门易于上下的载片基于LabView软件的PC计算机控制带密码保护功能的多级访问控制完全的安全联锁功能预真空锁以及自动晶圆片上/下的载片 溅射镀膜 溅射镀膜就是在真空中利用荷能粒子轰击
