当分子筛吸附氮气至饱和后，停止通空气并降低吸附床的压力，分子筛吸附的氮气变解析出来，分子筛得到再生并可重复使用。两个以上的吸附床轮流切换工作，便可连续生产出氧气。氧气和氮气的沸点接近，变压吸附制氧机价格，两者很难分离，一起在气象得到富集。因此变压吸附制氧装置通常只能获得90-95%的氧气(氧的极阴浓度为95.6%，其余为气)又称富氧。与深冷空分装置相比，后者能制成99.5%以上浓度的氧气
