真空腔体中抽气管道的设计原则为一个工艺选择真空泵时,工艺室和泵之间的抽气管道可能和泵的选择一样重要。要使腔体抽气速率达到大,需要笔直的抽气管道(长度短)并使用直径尽可能大的管道。看起来似乎很简单,但是这里有许多因素需要考虑。实际上,如果我们从物理学角度考虑,就可以明确哪些是关键因素。真空腔体在稳定状态的条件下,如果抽气管道内没有气源(泄漏)或气体减少(冷凝),抽气管道任何截面的质量流量必须