因此将废气以一般风车抽至大气排放至大气环境而不需处理。酸碱性排气：其主要来源于化学清洗工作站，清洗晶片时所产生之挥发性气体，此气体部分含有浓烟，部分则对呼吸系统有刺激性作用有害人体，故必须经过水洗中和处理，再由风机排入大气。排气：其主要来源于涂胶、显影工序和各工序使用清洗过程时所产生，需经有机废气处理设备处理后，再由风机排入大气。 一次吊装风管的长度要根据建筑物的条件，风管的壁厚，吊装方
