1960年Skarstrom提出PSA，他以5A沸石分子筛为吸附剂，用变压吸附制氮一个两床PSA装置，从空气中分离出富氧，该过程经过改进，工业制氧机，于60年代投入了工业生产。80年代，变压吸附技术的工业应用取得了突破性的进展，主要应用在氧氮分离、空气干燥与净化以及氢气净化等。其中，氧氮分离的技术进展是把新型吸附剂碳分子筛与变压吸附结合起来，将空气中的O2和N2加以分离，从而获得氮气。随
