扫描电子显微镜的基本结构扫描电子显微镜的基本结构: 扫描电子显微镜是运用材料表面微区的特征(如形貌、原子序数、化学成分或者晶体结构等)的差异,在电子束作用下通过试样不同区域产生不同的亮度差异,从而获得具有一定衬度的图像。成像信号是二次电子、背散射电子或者吸收电子,此中二次电子是主要的成像信号。高能电子束轰击样品表面,激发出样品表面的各种物理信号,再利用不同的接受物理信号转换成图像信