真空腔体中抽气管道的设计原则工艺室的抽气速率将泵入口的抽气速率，相差多少取决于抽气管道的属性(例如长度和尺寸)。尽量降低工艺室和泵入口之间的压力差就可以使抽气速率损失减到少。显然，抽气管道的属性对于性能十分关键。此时还需要考虑其它因素：流导。我们采用流导(阻力的倒数)这一术语来定义“管道传递流动的能力”。流导的计量单位是每单位时间的体积并且和抽气速率的单位相同。工艺室抽气速率(S)可用抽气
