特长 ·可以自动连续高温处理注入 ·1价离子可注入350keV，2价离子可注入700keV（可选择1价离子可注入430keV，2价离子可支持860keV） ·在双端站实现高吞吐量（A系4“高温ESC/B系3”高温ESC、A系6“高温ESC/B系6”常温ESC等，可根据客户的要求构建规格） ·可以进行链条注入，减轻操作员的负荷 ·小型设计 ·从试作到量产可以广泛对应
