扫描电镜的类型各式各样，不同类型的扫描电镜可能会存在性能上的差异。按照电子种类可以分成三种，种是场发射电子，第二种是钨丝，第三种是六硼化镧。此中，场发射扫描电镜按照光源性能可以分成冷场发射扫描电子显微镜以及热场发射扫描电镜。冷场发射扫描电子显微镜对真空条件要求十分高，束流不稳固，发射体使用寿命比较短，需要固定时间对针尖进行清洁，只局限于单一的图像观察，使用范围有限；而且热场发射扫描电子
