电气监控及报警装置。齿轮和泵轴的下轴承用PFPE油润滑，上端盖内德轴承用PFPE油脂润滑。第二、三、四级均有净化入口，以改善被抽介质顺利通过泵腔，无此需要的可以不用通净化气体，螺杆真空泵购买，净化气体用三个流量计分别调节，相互都是独立的，无油式真空泵，以保证节约惰性气体，利用三个电磁阀可微调其流量。入口防返流阀能将被抽容器与泵腔隔断，六安真空泵，出口处截流阀能将泵的出口封闭起来，将泵通以净化气体，
