由于真空系统的多样性，检查气密性的装置，检漏方法也各式各样，厂家也设计制造了许多专门用于检漏的仪器（真空检漏仪）。选择真空检漏仪检漏方法的原则主要根据被检漏设备的允许漏率为依据，由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合，为找到一个单个漏孔，所选择的检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1-2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11w，而必须选用的检漏仪灵敏度为10-
