扫描电子显微镜的结构组成1、真空系统成像系统和电子束系统均内置于真空柱中。真空柱的底部是密封室，也就是放置样品的地方。??之所以采用真空，主要基于以下两个原因：? 电子束系统中的灯丝在普通大气中会很快氧化失效，所以使用SEM时除了真空外，通常还需要用纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。??为了增加电子的平均自由程，使更多的电子用于成像。2. 电子束系统电子束系统由电子和电磁透镜组成。主要
