热发射电子需要电磁透镜才能形成光束电磁透镜热发射电子需要电磁透镜才能形成光束,因此电磁透镜对于使用热发射电子的SEM来说是的。通常组装两个组:会聚透镜:顾名思义,会聚透镜使用会聚电子束,组装在真空柱中,位于电子下方。通常不止一个,透射电镜测试机构,并且有一组会聚光圈与之匹配。 但是,会聚透镜仅用于会聚电子束,与成像焦点无关。物镜:物镜是真空柱底部的电磁透镜,负责将电子束的焦点会聚到样品