扫描电镜之电子探针扫描电镜之电子探针定量分析准确度高电子探针是目前微区元素定量分析准确的仪器。电子探针的检测极限(能检测到的元素浓度)一般为（0.01－0.05）%， 不同测量条件和不同元素有不同的检测极限，但由于所分析的体积小，所以检测的感量极限值约为10-14g，主元素定量分析的相对误差为(1—3)%，对原子序数大于11 的元素，含量在10% 以上的时，其相对误差通常小于2%。微区
