氦气检漏仪可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯，极大降低氦气损耗（功能可选）；检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。检漏仪不会受到主观因素判断的影响；检测的数据；自动生成数据保存，可追溯数据来源。 检漏设备检漏过程中，如发现大量氦气进质谱检漏仪，应立即移去吸，防
