箱式真空镀膜机采用箱式结构，真空系统后置，便于操作和维修；整机表面平整，方便清洁，特别适合放置在净化间内做穿墙式安装。设备真空系统抽速大，具有抽气时间短，真空度高，生产周期短等优点。采用管状加热器上烘烤，烘烤温度均匀，寿命长，可达到烘烤温度350℃，烘烤均匀性270℃±10℃。工件转动采用上部中心驱动，轴承带水冷，磁流体密封，转动平稳可靠。采用石英晶体膜厚控制仪，可实现镀膜过程的自动
