标题高纯氦气高压低温冷凝、吸附法是一种经典可靠的纯化技能，该技能工艺老练，被广泛应用在高纯度高纯氦气的提纯工艺中。高纯氧气用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源和出产高纯水的试的剂；干氧化与四氟化碳混合用于等离子体蚀刻。应留意高纯氧气的安全，压缩氮气，并应做好防震，防火，氮气分子，耐热和防油等作业。高纯氧气能够促进燃烧。应将其保存在阴凉处。禁止触摸烟的花和宜燃材料。请勿在氧气计的螺旋形嘴上
