在结晶间，风量的压强差经过风量的调节使其平衡基本保持恒定，因为这里和工艺走廊相比要求维持一个相对负压，当各级过滤器出现阻挡和栓塞的情况时，可以适当调节送风量变频，改变送风机的频率，增大压头，克服过滤器的栓塞阻力，保证房间的送风量，保证结晶间的压差。温湿度可以通过温湿度传感器对不符合要求的温湿度进行室外监控记录，达到及时调节的目的。洁净区的风速、尘埃粒子数、菌落数根据空调系统操作规程，每月监
