真空镀膜机泵有哪几种类型很多人对真空镀膜机很了解,对真空镀膜机泵却接触很少,也不知道真空镀膜机泵到底有啥作用,分那几类,下面为大家详细介绍一下,真空镀膜机泵有几大类,它们各自原理是怎样的。真空镀膜机有三个泵的:机械泵(一般是油旋转泵),增压泵又叫罗茨泵,高真空泵(扩散泵或者分子泵)。机械泵是从大气开始工作的,机械泵排气的效果还与电机的转速及皮带的松紧度有关系,当电机的皮带比较松,电机