离子镀膜设备的工作原理及操作方法离子镀膜设备的工作原理及操作方法目前商业上已有很精制的设备安装在显微镜下的载物台的位置上。溅射镀膜时,将抛光的试样安放在式样头具上,倾转到面对电子(阴极)的位置,调节溅射室中的气压,辉光放电,阴极溅射,反应溅射沉积。一定时间后,中断溅射,把溅射沉积的试样表面,转回到面对物镜的位置,观察试样表面的颜色,来评定沉积膜的厚度,当要求的颜色得到时,镀膜操作停止