? ? 太阳能级多晶硅技术分为化学法与物理法两大类。化学法的多晶硅制程泛指硅在纯化过程中,需要转换成硅化合物的中间产物,再利用裂解或氧化还原反应,将硅化合物转成高纯度的多晶硅原料。化学法制程可产出纯度较高的多晶硅,但由于中间牵涉到许多副产品的控制与处理,技术难度较高,依照不同技术来源,成本各异,一般来说成本比物理法制程高。大部分化学法都需利用冶金级硅(metallurgical grade sil