过渡金属硫化物制备工艺过渡金属硫化物研究历史悠久,早在20世纪20年代已经开始起步,80年代单层二硫化钼MoS2被合成。现阶段,过渡金属硫化物制备工艺主要包括间接法与直接法两大类。间接法又包括机械剥离法、液相剥离法两种,直接法又包括分子束外延法(MBE)、化学气相沉积法(CVD)、有机金属化学气相沉积法