标题在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中，氧气厂家，液氢加注系统需要先用高纯氮置换，再用高纯氦置换。 标题由于氦气在血液中的溶解度很低，因此可以加到氧气中作为潜水员的呼
