依据机械加工原理、半导体材料工程学、物力化学多相反应多相催化理论、表面工程学、半导体化学基础理论等,对硅单晶片化学机械抛光(CMP)机理、动力学控制过程和影响因素研究标明,化学机械抛光是一个复杂的多相反应,它存在着两个动力学过程:(1)抛光首先使吸附在抛光布上的抛光液中的氧化剂、催化剂等与衬底片表面的硅原子在表面进行氧化还原的动力学过程。这是化学反应的主体。(2)抛光表面反应物脱离硅单晶表面,即解吸过程使未反应的硅单晶重新出来的动力学过程。它是控制抛光速率的另一个重要过程。硅片的化学机械抛光过程是以化学反应为主的机械抛光过程,要获得质量好的抛光片,化学抛光生产商,必须使抛光过程中的化学腐蚀作用与机械磨削作用达到一种平衡。如果化学腐蚀作用大于机械抛光作用,则抛光片表面产生腐蚀坑、桔皮状波纹。如果机械磨削作用大于化学腐蚀作用,淮安化学抛光,则表面产生高损伤层。

化学抛光适用什么材料?工艺原理是如何的
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化学抛光主要用不锈钢、铜及铜合金等。化学抛光对钢铁零件,尤其是低碳钢有较好的抛光效果,所以对于一些机械抛光时较为困难的钢铁零件,可采用化学抛光。
原理:化学抛光是靠化学试剂的化学浸蚀作用对样品表面凹凸不平区域的选择性溶解作用消除磨痕、浸蚀整平的一种方法。化学抛光设备简单,能够处理细管、带有深孔及形状复杂的零件,生产。化学抛光可作为电镀预处理工序,也可在抛光后辅助以必要的防护措施直接使用。
CMP技术的概念是1965年由Manto提出。该技术是用于获取高质量的玻璃表面,如望远镜等。1988年IBM开始将CMP技术运用于4MDRAM 的制造中,次磷,而自从1991年IBM将CMP成功应用到64MDRAM 的生产中以后,CMP技术在世界各地迅速发展起来。区别于传统的纯机械或纯化学的抛光方法,CMP通过化学的和机械的综合作用,从而避免了由单纯机械抛光造成的表面损伤和由单纯化学抛光易造成的抛光速度慢、表面平整度和抛光一致性差等缺点。它利用了磨损中的“软磨硬”原理,即用较软的材料来进行抛光以实现高质量的表面抛光。

化学抛光生产商-昆山韩铝化学2-淮安化学抛光由昆山市韩铝化学表面材料有限公司提供。昆山市韩铝化学表面材料有限公司为客户提供“化工原料及产品,五金材料,化学试剂”等业务,公司拥有“化工原料及产品,五金材料,化学试剂”等,专注于化学试剂等行业。,在昆山市千灯镇石浦卫泾大街51号的名声不错。欢迎来电垂询,联系人:王总。
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