对于氧气，高纯气体厂家，纯度为99.99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。 高纯氮气半导体硅行业应用：半导体和集成电路制造过程的气氛保护，清洗，化学品回收等。制造了用于半导体硅行业的变压吸附制氮机，成功的取代了液氮，该系统在香港已无间歇运行近两年。
