洁净室(区)空气洁净度检测等级(1)空气洁净度100 级的洁净室(区)应对大于等于5μm 尘粒的计数多次采样,当大于等于5μm 尘粒多次出现时,可认为该测试数值是可靠的。生产工艺对温度和湿度无特殊要求时,洁净室(区)温度应为18~26℃,相对湿度应为45%~65 %(2)洁净室(区)应根据生产要求提供照度,并应符合下列规定:(3)辅助工作室、走廊、气闸室、人员净化和物料净化用室的照度值不宜