1.离子注入用石墨，细颗粒高密度的石墨呈现出很强的抗腐蚀性，即使是在极其恶劣的工况下如离子束轰击或等离子体束也是如此。 2.由于离子束的原因，金属部件暴露在离子注入设备中会造成高的损耗，故这时应用相应的石墨件来作屏蔽罩。 3.我司采用德国西格里石墨，不仅能为各种离子注入机提供石墨屏蔽罩，且提供各种规格具有高耐腐蚀性的高纯度
