企业视频展播,请点击播放视频作者:苏州麦得恩工业自动化有限公司 光线通过掩模板投射到晶圆上,光刻机的光学系统(DUV系统的透镜)缩小了掩模板上设计的电路图案,并将光刻胶聚焦在晶圆上。正如前面提到的,当光线照射到光刻胶上时,会发生