由于无尘室的平面和空间布置特殊,在进行各项技术设施的系统设计、设备配置时应特别注意按规定选用符合要求的系统和设备。为确保无尘室工程洁净厂房的正常生产和工作,应设置一套较完整的自控装置,实现以下功能:洁净室空气洁净度、温湿度、压差监控、风阀调节、高纯气体、纯水和循环冷却水的温度、压力、流量的检测、气体纯度、纯水水质的监测等。无尘室门窗上的缝隙分为固定缝隙和活动缝隙。性质不同在无尘室门、窗上所占比例也