冷场发射式电子的优缺点要从极细的钨针尖场发射电子，金属表面必需完全干净，河南场发射扫描电镜，无任何外来材料的原子或分子在其表面，即使只有一个外来原子落在表面亦会降低电子的场发射，所以场发射电子必需保持超高真空度，来防止钨阴极表面累积原子。由于超高真空设备价格极为高昂，所以一般除非需要高分辨率SEM，否则较少采用场发射电子。冷场发射式大的优点为电子束直径，亮度，场发射扫描电镜代理商，因此影像分辨率优
