火花光谱仪的谱线范围在400CCD的表面多硅电极吸收紫外光，且存在表面陷阱，真空紫外效率低（20nm以下），所以其优势是光谱波长检测范围在400--800nm，而火花光谱仪的谱线范围在120--800nm之间，采用CCD检测器将牺牲部分元素的检测性能，如碳、磷、硫、硼、等元素，全谱光谱仪生产，其灵敏光谱线波长范围都在300nm以下。而采用光电倍增管作为检测器的光谱仪由于通道相互独立，可以通过选择不
