影响扫描电镜的分辨本领的主要因素影响扫描电镜的分辨本领的主要因素有:A.入射电子束光斑直径:扫描电镜分辨能力的极限一般来说，热阴极电子的小束斑直径可以减小到6nm，场发射电子可以使束斑直径小于3nmB.入射电子束在样品中的膨胀效应:扩散程度取决于入射电子的能量和样品的原子序数束流能量越高，样品的原子序数越小，电子束的相互作用体积越大，信号产生区域随电子束的扩散而增大，从而降低了分辨率C.
