电子束与样品作用体积(interactionvolume)的分析特征X的方式，可分析特征X的能量分布，称为EDS，或分析特征X的波长，称为WDS。X能谱的分辨率，天津扫描电镜代理商，在EDS中约有100~200eV的分辨率，在WDS中则有5~10eV的分辨率。由于EDS的分辨率较WDS差，因此在能谱的解析上，较易产生重迭的情形。由于电子束与样品作用的作用体积(interaction vo
