微流控芯片结合了“微”和“全”两者的优点，活化表面处理，具有较高的分析效率和极大的试剂消耗量，可以用来实现生物样品分析检测的集成化、自动化以及便携化。从本世纪初开始，微流控芯片的技术得到了飞速的发展。作为微流控芯片的基本载体，材料对于芯片的加工精度和功能等来说有极其重要的意义，芯片材料的研究也依旧还在不断深入下去。 硅材料具有良好的化学惰性与热稳定性，基于微电子领域的加工技术，早用于制作微
