20世纪90年代，Manz A等人首先提出微型全分析系统( miniaturized totalanalysis system，μ -TAS)的概念，其中芯片式μ -TAS也称芯片实验室(Lab on achip)，硅片的抛光，根据原理不同分为微流控芯片和微阵列芯片。微流控芯片又称芯片实验室(Lab on a Chip)，是微机电加工技术(MEMS)的一个典型应用，在硅、石英、玻璃或高分子聚合物等
