半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,XRD掠入射(GIXRD)电话,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。(2)获得了一批Co合金试样的XRD衍射数据,试样中Co含量超过95%。试样的谱线均在纯钴谱线左侧,低角度谱线偏离0.2度左右,高角度谱线