真空箱式氦检漏系统操作规程? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 真空箱式氦检漏系统操作规程一、预启动检测:1、检测提供给系统的压缩空气(压力大于0.6MPa的洁净压缩空气)。2、检测吹氮装置的氮气供应压力在0.2MPa之间。3、确保总电源打开。4、确保所有紧急停止按钮处于释放状态。5、检查输入氦气瓶的压力为0.1MPa。6、检查高压氦气罐出口手动阀处于打开状态。7、检查排气管路的