半导体衬底单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。薄膜测试xrd怎么计算x射线入射的深度谢勒公式D=kλ/FWHM cosθ计算D：晶粒尺寸（不叫离子尺寸的）k：0.89λ：XRD测试的x射线的波长，一般分kα1
