目前,应用广泛的是全室净化与局部净化相结合的净化处理方式,这是洁净技术发展中产生的净化方式,它既能保证室内具有一定洁净度,又能在局部区域实现高洁净度环境,从而达到既满足生产对高洁净度环境的要求,又节约能源的双重目的。例如,需要100级洁净度的操作工段,当生产批量较小时,只要在洁净度较低的乱流洁净室内,利用洁净工作台或层流罩等局部净化设备,就能实现全室净化与局部净化相结合的净化方式。 蒸汽喷射式制