XRD残余应力检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。X射线衍射中，Kα，Kβ具体意义X射线管发生出来的不是纯净的单色光，包含多种波长的射线，主要的是K系射线。K系射线是指阴极电子碰撞阳极，使阳极电子产生K
