XRD倒易空间（RSM）检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。X射线衍射仪是对物质和材料的组成和原子级结构进行研究和鉴定的基本手段。X射线衍射仪对单晶、多晶和非晶样品进行结构参数分析，台湾XRD倒易空间（R
