XRD小角度检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。小角衍射几何分类：（1）共面非对称衍射（EAD），这种小角衍射的几何特点是衍射平面与样品表面之间形成近似布拉格角，此时，X射线的入射角与衍射角比较小，衍射线
