微纳光刻加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，MEMS光刻工艺厂商，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。光刻其实是由多步工序所组成的。1.清洗：2.旋涂：3.曝光。4.显影：5.后烘。边缘的光刻胶一般涂布不均匀，不能得
