XRD倒易空间（RSM）检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。1923年，康普顿报道了当X射线用几乎与样品表面平行的小角度入射到理想光滑平整的样品表面上时，能够出现镜面反射的特征。入射X射线在样品表面发生全
